 真空泵的極限壓強 泵的極限壓強單位是Pa，是指泵 在入口處裝有標準試驗罩 並按規定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩定的最低壓強。

 真空泵的抽氣速率 泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有標準試 驗罩，並按規定條件工作時，從試驗罩 流過的氣體流量與在試驗罩指定位置測得的平衡壓強之比。簡稱泵的抽速。

 真空泵的抽氣量 真空泵的抽氣量 單位是Pam3/s或Pal/s。是指 泵入口的氣體流量。

 真空泵的起動壓強 真空泵的起動壓強單位為Pa，它是指泵無損壞起動並有抽氣作用 時的壓強。

 泵的前級壓強 真空泵的前級壓強 單位是Pa，它是指排氣壓強 低于一個大氣壓的真空泵的出口壓強。

 真空泵的最大前級壓強 真空泵口最大前級壓強單位是Pa，它是指超過了 能使泵損壞 的前級壓強。

 真空泵的最大工作壓強 真空泵的最大工作壓強單位是Pa，它是指對應最大抽氣量 的入口壓強。在此壓強下，泵能連續工作而不惡化或損壞。

 壓縮比 壓縮比是指泵對給定氣體的出口壓強與入口壓強之比。

 何氏系數 泵抽氣通道面積上的實際抽速 與該處按分子瀉流計算的理論抽速 之比。

 抽速系數 泵的實際抽速與泵入口處按分子瀉流計算的理論抽速之比。

　 返流率 泵的返流率 單位是g/cm2.s。它是指 泵按規定條件工作時，通過泵入口單位面積的泵流質量流率。

　 水蒸氣允許量 水蒸氣 的允許量單位是kg/h，它是指泵在正常環境條件下，氣鎮泵 在連續工作時能抽除的水蒸氣質量流量。

　 最大允許水蒸氣入口壓強 最大允許水蒸氣入口壓強 單位是Pa。它是指 在正常環境條件下，氣鎮泵在連續工作時所能抽除的水蒸氣的最高入口壓強。